關于混合氣體的流量測量及控制

從科研實驗到工業制造，很多涉及氣體應用的行業都可能會使用混合型氣體；而且在很多實際應用中，需要進行多種氣體定量混合配氣，將不同氣體按一定的比例混合到一起，配出不同濃度、多種組分的工藝氣體后才能更好的滿足工藝性能的要求。

      對于單一組分的氣體，選擇氣體質量流量計進行流量的測量和控制在眾多用氣行業中已經有比較成熟的應用了，尤其是氣體質量流量控制器MFC在對氣體流量的一體化自動控制方面具有很明顯的優勢，可以很好的實現跟電腦、上位機之間通過多種協議通訊，對氣體流量進行精確的閉環控制。

      然而，氣體質量流量計MFM及質量流量控制器MFC本身也存在幾種不同的工藝原理，目前市場上主要有三種原理：熱式、差壓式、科里奧利（科氏）原理。

      對于混合氣體，如果知道具體的組分比例，則可以選擇熱式或差壓式；因為熱式和差壓式原理雖然是與氣體的質量流量相關，但是也會與氣體自身的其它特性相關，所以需要知道具體是什么氣體或者混合氣體中每種氣體的大概比例，這樣測量出的流量值才會相對準確。

      但在有些應用中，有時候氣體源本身就是不確定的組分，例如組分較多的有機溶劑或者組分不明確的固體蒸發、揮發出的氣體，由多種單一氣體非定量混合后的氣體，以及一些工藝流程后排出的氣體等等。。。。這些混合氣體因為不知道其具體組分，但是又需要精確測量流量，則可以使用科里奧利（科氏）質量流量計及質量流量控制器；因為科氏原理的質量流量計只與介質的質量相關，與其它特性無關，所以可以直接輸出質量流量。

但是，科氏產品的造價相對于熱式和差壓式更高一些，所以在具體應用中，如果成本預算有限，對測量結果要求不是很高，又知道混合氣體的主要成分，則可以考慮熱式或差壓式，但是如果對測量結果要求較高，或者混合氣體中并沒有很明顯的主要組分，那么科里奧利（科氏）原理的質量流量計MFM及質量流量控制器MFC還是最合適的選擇。