使用MFC對(duì)氣體進(jìn)行微流控制

      對(duì)于氣體質(zhì)量流量控制器MFC來(lái)說(shuō)，在有些場(chǎng)景，例如半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè)，分析儀器行業(yè)，科研實(shí)驗(yàn)場(chǎng)景等，需要對(duì)氣體進(jìn)行微流控制，使其流量很小，需要小于1SCCM，同時(shí)這種微流控制也需要較高的響應(yīng)時(shí)間，因?yàn)榱髁亢苄。查g就會(huì)在氣路中通過(guò)所需的流量，所以如果MFC的響應(yīng)時(shí)間太慢的話，流量控制就很困難。

       我司的高精度氣體質(zhì)量流量控制器MFC，最小量程可以做到2SCCM（滿量程流量），可以控制到0.01SCCM，響應(yīng)時(shí)間＜200ms，很適合微流控制。

       對(duì)于這種微流控制，即使是用模擬信號(hào)操控，也需要選用數(shù)字款流量控制器（既帶有數(shù)字信號(hào)，也帶有模擬信號(hào)），其內(nèi)部的處理方式是數(shù)字化芯片控制，而模擬款（只帶有模擬信號(hào)）則只靠電路的線性控制，數(shù)字款MFC控制的更穩(wěn)定、更精確，尤其是對(duì)微小流量氣體的流量控制，會(huì)體現(xiàn)的更明顯。

       以下是某客戶定制的滿量程為5ml/min的流量控制器，演示視頻，客戶要求流量微小流量控制到0.25ml/min。