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一、ACU20FC 高精度層流壓差氣體質量流量控制器及流量計 產品概述：
1、準確度±0.5%F.S，量程可在100：1范圍內按鍵設定，無需標定。
2、無需預熱，測量時無響應滯后。
3、采用無熱漂移，無響應滯后的差壓質量測量原理，同時顯示和輸出瞬時流量、累計流量、壓力、溫度等。
4、當需要控制功能時，還可以加裝電磁比例調節閥和內置PID 調節功能。
二、ACU20FC 高精度層流壓差氣體質量流量控制器及流量計 產品參數：
（如所需參數性能與下述不符，請溝通定制）
技術指標 | 高精度質量流量控制器 | 高精度質量流量計 | |
滿量程量程范圍 | 2SCCM～6000SLM | ||
測控范圍 | 控制器閥控范圍50:1 | 流量計量程比100:1 | |
準確度 | ±0.5%F.S | ||
線性 | ±0.5%F.S | ||
重復精度 | ±0.2%F.S | ||
穩定性 | <±0.1%FS | ||
響應時間 | <0.2s | <0.1s | |
溫度系數 | ±0.025%F.S/℃ | ||
工作溫度 | 10～50℃ | ||
預熱時間 | 30S可用，5Min達到優良狀態 | ||
工作壓力 | 工作壓差：0.1~0.5Mpa | 工作壓降<0.01Mpa | |
最大耐壓 | 3MPa/10MPa | ||
漏率 | 1×10-9SCCSHe | ||
機械部件 | 底座材質 | 不銹鋼 | |
接頭 | φ6，φ8，φ10，1/2"...快插、卡套、法蘭安裝等 | ||
密封材質 | 氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠，乙丙橡膠等 | ||
外殼防護等級 | IP40 | ||
安裝位置 | 水平安裝、垂直（下進上出） | ||
電氣性能 | 單色LED顯示屏 | 同時顯示流量、設定 | |
電氣連接 | DB15孔, RJ11, 5.5×2.1電源快插 | ||
顯示狀態 | 帶液晶顯示、不帶液晶顯示 | ||
數字量 | RS232/485，MODBUS等協議 | ||
模擬量 | 0～5V、4-20mA、1-5V | ||
供電 | ±15VDC，24VDC | ||
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