智能數(shù)顯壓力控制器的特點及應(yīng)用

　　智能數(shù)顯壓力控制器是專為現(xiàn)場實時顯示壓力值并控制的智能化儀表；工業(yè)級產(chǎn)品設(shè)計，高品質(zhì)壓力傳感器芯片和電子元器件；具有抗干擾，操作簡單等特點。

 

　　一、它的技術(shù)特點：

　　1、動態(tài)適時控制壓力，與傳統(tǒng)壓力控制器、穩(wěn)壓器相比，此系列智能數(shù)字壓力控制器可自動控制氣體流量，精準控制、保持固定壓力值，不存在繼電器控制式的響應(yīng)區(qū)間。

　　2、控制精度比傳統(tǒng)的機械式開關(guān)高，無噪音；

　　3、耐震、抗干擾強、響應(yīng)快，性能穩(wěn)定。

 

　　二、技術(shù)原理：

　　壓力傳感器是處于硅芯片表面的壓敏電阻橋。該芯片從其背面鉆出，給芯片內(nèi)部形成壓力隔膜，其厚度決定壓力范圍。

　　當壓力作用于芯片時，壓膜彎曲，電阻橋的電阻值與壓力成比例地變化。測量元件通過超薄靈敏的不銹鋼隔膜與外部壓力隔開，隔膜和測量元件之間的密封腔充滿了油。

 

　　三、相關(guān)應(yīng)用：

　　應(yīng)用范圍較廣泛，例如，半導體工藝、氣相和液相色譜儀，MOCVD過程中蒸汽壓力控制，擠塑成型過程中氣體壓力保護控制，高壓釜、反應(yīng)釜，氣密檢漏裝置等。

　　目前，MKS，Horiba，Alicat，Bronkhorst等進口品牌有此類產(chǎn)品，我司在國產(chǎn)化此類壓力控制方面已經(jīng)積累了大量的實用經(jīng)驗，產(chǎn)品性能基本可以與進口產(chǎn)品媲美。