小口徑、微小流量液體流量控制器的種類

本文所述的小口徑、微小流量液體流量控制器是指流道管徑小于2"，流量小于2500Kg/h的小流量；尤其是對管徑更小，而流量小于1Kg/h，或者1000ml/h的更小流量的控制。

對于液體流量計(jì)（只測流量，不控制流量），市場上的種類很多，但是可以精確控制微小液體流量的一體式液體流量控制器就比較少了，大多是采用一個(gè)獨(dú)立的閥跟流量計(jì)配合。   

目前市場上，這種一體式閉環(huán)自動(dòng)控制的液體微小流量控制器，主要有三種原理：差壓式、熱式、以及科里奧利式，并且大部分以進(jìn)口品牌為主，國產(chǎn)品牌很少。

其中，熱式原理的液體流量控制器，主要是半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用較多，半導(dǎo)體行業(yè)的進(jìn)口設(shè)備較多，也會(huì)涉及到微小流量的液體流量控制，主要品牌例如horiba的LV-F 和 LF-F系列。

對于科里奧利原理的質(zhì)量流量計(jì)，國內(nèi)外品牌的產(chǎn)品比較多，但主要是大流量為主，而且只是流量測量功能為主，同時(shí)帶有一體式流量控制功能的很少，尤其是對微小流量的控制，主要還是進(jìn)口的品牌。

目前我司的微小流量液體質(zhì)量流量控制器已經(jīng)開發(fā)了以上三種原理的產(chǎn)品，并已在半導(dǎo)體，新能源，生物醫(yī)藥，化工，發(fā)動(dòng)機(jī)研究、科學(xué)儀器等行業(yè)多有應(yīng)用。

其中熱式和差壓式的流量控制器精度是±1%F.S；科氏原理的流量控制器精度在0.25%F.S。

差壓式的液體流量控制器的（滿量程）流量范圍是10ml/min ~ 25L/min；

熱式液體流量控制器的（滿量程）流量范圍2g/h ~ 1000g/h；

科氏質(zhì)量流量控制器的（滿量程）流量范圍是20g/h ~ 1000kg/h，適用性比較強(qiáng)，且不受介質(zhì)的物理特性的影響，對高粘度微小流量同樣適用。